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欧姆龙新型压力传感器检测原理技术

文章标题起源: 杭州市米乐m6 智能电子现有机构知名:2199发表文章日期:2017-09-25 14:38:51

欧姆龙开发一款最新型学习压力感测器器,ꦏ压力差调节器器利用了欧姆龙核心内容新技术工艺一种的MEMS新技术工艺,实行了世间高性价比程度的高精准度和低直流电消耗量,其优缺点基本是在于有以下三个问题:


2SMPP-02性能偏差小的MEMS压力传感器

1、超小、低功能损耗的MEMS表压感知器

2、长6.1mm×宽4.7mm×高8.2mm的超家庭型。

3、比电阻式负压调节器器最好异的机电特征参数。

4、校正压为位置为0~37kPa。
5、偏置电流值:-2.5±4mV
6、满量程相电压:31.0±3.1mV

7、0.2mW的低功率。

8、受水温干扰小。
9、量限输出功率:±1.0 %F.S.

10、偏置电阻:±3.0%F.S.


 一、加测基本工作原理:MEMS絕對压强差感受器用于了重视舒张压计中压强差感受器研发部的压敏内阻形式。压敏内阻形式,是的使用了顺利利用调用在内阻pcb板上的力道转变主产生的内阻转变即光电探测器定律,顺利利用这类基本工作原理将压强差还原成为电流大小警报。 还,为了能让法测定大方得体压强差转变,絕對压强差感受器用于MEMS连结技巧,将感受器电子器件的里面实行蒸空密封隔绝。以至于,并能感受与蒸空环境优于过大方得体压强差的数据,也就絕對压强差值。

🏅二、技术特长该传感器,欧姆龙长年研发的各种技术功能集中在一个芯片中,包括半导体回路设计技术、CMOS工艺技术、MEMS技术、压力传感器、模拟增幅回路、数字处理回路、不挥发性存储等。因此,实现了芯片的小型化、高机能化、耐噪性能的提升。 此外,该传感器使用MEMS接合技术,可扩大传感器芯片内部的真空室容量,将传感器的输入动态范围最大化。从而实现高精度。


三、测定结果


结果能够达到50cm的判别。


■传感器外观


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